市場概要
マスフローコントローラの世界市場規模は2024年に16.3億米ドルで、2029年には23.2億米ドルに達すると予測されています。マスフローコントローラは、基本的にコントロールバルブと統合されたマスフローメータ（センサー）と、センサーとバルブ間の相互作用を調整するフィードバック電子機器で構成されています。マスフローコントローラ市場の需要増加の背景には、半導体・電子生産への投資の増加と、再生可能エネルギー源としての水素燃料電池への注目の高まりがあります。さらに、マスフローコントローラメーカーは、IoTエコシステムと互換性を持たせるため、製品の技術革新を続けています。例えば、高温マスフローコントローラやコリオリ式マスフローコントローラは、より高い精度を実現し、イーサネットやPROFIBUSのような幅広い通信モデルを導入しています。
2023年のマスフローコントローラ市場では、アジア太平洋地域が10億3910万米ドルと大きなシェアを占めています。アジア太平洋地域がマスフローコントローラ市場で最大のシェアを占めているのは、いくつかの要因によるもの。産業経済の成長、特に半導体、自動車、化学産業などのハイテク分野では、正確で効率的な流量制御製品が求められています。さらに、インドのような国々では、半導体・電子製造のためのインフラが新たに建設され、自動化ソリューションの強化に対する大きな需要が高まっています。さらに、有利な政府政策とエネルギー効率の高い製品に向けたエネルギー消費のトレンドの変化により、マスフローコントローラの市場はこの地域で堅調を維持しています。
人工知能は、効率とプロセスの最適化を強化するために、多くの産業に広く適用されています。同じことが流体力学、計測、制御技術でも起こっており、AIの潜在的な統合に関する研究が急ピッチで進められています。AIアプリケーションにとって重要な分野の1つがマスフローコントローラで、気体や液体の流量を正確に調整するために使用されます。AIを統合したマスフローコントローラの応用は初期段階にありますが、その可能性を最大限に引き出すための研究開発が継続的に行われています。AIをマスフローコントローラに統合することで、いくつかの重要な利点がもたらされます。AIは、より優れた調整オプションと予測分析を提供することにより、測定精度を向上させることができます。さらに、特にコリオリ式マスフローコントローラでは、センサーの最適な使用と摩耗の低減により、センサーの寿命を延ばすことができます。さらに、AIは、最終的に所望の流量条件を一定に保つように、操作パラメータを動的に適応させることで、能動的な流量制御の最適化をサポートします。さらに、AIは液体の流れの予測精度の向上にも役立ち、より安全で効率的なプロセス管理を実現することができます。
マスフローコントローラー市場のダイナミクス
ドライバー ドライバー：半導体・電子生産への投資の増加
マスフローコントローラ市場の大きな原動力は、半導体産業の成長拡大です。半導体製造の高度化に伴い、気体や液体の流れを正確に制御する必要性が高まっています。液体マスフローコントローラ/ガスマスフローコントローラは、化学気相成長、エッチング、イオン注入、物理気相成長、プラズマ処理、洗浄プロセスなどのプロセスで要求される正確な基準を達成するために不可欠です。半導体製造プロセスは複雑であるため、ガス流量のわずかな変化でもチップの品質や歩留まりに影響を与える可能性があるため、正確な流量が不可欠です。リアルタイムのモニタリング、AIによる最適化、精度の向上を備えたデジタルマスフローコントローラの開発も市場成長に寄与しています。マスフローコントローラは必要なレベルの精度を提供するため、すべての半導体メーカーにとって不可欠です。
抑制要因 校正への依存
マスフローコントローラ市場における阻害要因の1つは、操作効率と精度に関係する校正への依存です。マスフローコントローラは、半導体製造、化学処理、製薬などの産業で高精度の気体流量調整アプリケーションを提供するために使用され、装置の測定値を標準と比較するために定期的な校正が必要です。このプロセスは非常に詳細で時間がかかり、内部センサーと流量測定値の調整が必要です。被試験装置は、流量測定値を共有するために基準装置と直列に接続されます。リファレンス装置とマスフローコントローラーから得られた測定値は、精度について比較されます。マス・フロー・コントローラーは以下のガスを使用して校正されます：窒素、酸素、アルゴン、ヘリウム、水素、メタン、天然ガス、プロパン、アンモニア、二酸化炭素、その他多くの混合ガスの組み合わせ。低精度の用途では、この種類別校正で十分な場合が多くあります。高精度および高精度のアプリケーションでは、実際の動作ガスを使用した校正が必要です。
チャンス： 半導体製造を後押しする政府主導の取り組み
アジア太平洋地域の各国政府は、半導体製造の改善に大きな努力を払っています。その結果、この地域ではマスフローコントローラの需要が広がっています。中国、台湾、韓国、日本などの主要国は、半導体メーカーからの投資を誘致するために、補助金、免税、助成金などの様々なインセンティブを提供しています。その目的は、国内生産能力の増強です。これらの優遇措置は、マスフローコントローラの使用を必要とする、正確な流量を必要とするアプリケーションにとって極めて重要です。台湾や韓国のような国では、半導体クラスターが設立され、特化したエコシステムが発展しています。政府のインフラと政策に後押しされたこれらのクラスターは、半導体製造活動を集中させ、その結果、半導体製造に必要な精度を維持するためにマスフローコントローラの需要が増加しています。
課題 他の技術との統合に伴う複雑さ
システムの複雑さと多様性により、エンドユーザーがマスフローコントローラを他の装置に統合することは非常に困難です。マスフローコントローラは、半導体製造から医薬品に至るまで、様々なアプリケーションで気体や液体の流れを制御するために使用されています。しかし、データ収集システムなどの他の装置と統合することは容易なことではなく、いくつかの課題があります。第一の問題は、様々なシステムで使用されている異なる通信プロトコルとマスフローコントローラの互換性です。競合する信号の種類、異なるデータフォーマット、複数の通信規格は、有効で信頼性の高いデータ交換を保証するプロセスを複雑にします。さらに、これらの装置を統合されたシステムの仕様と正確に整合させるチューニングは、プロセスの一貫性と精度を維持するために極めて重要です。この調整には複雑な調整が必要な場合が多く、リアルタイム・フィードバックの必要性や操作パラメータに基づく調整のばらつきにより、さらに複雑になる可能性があります。
主要企業・市場シェア
マスフローコントローラーエコシステム
この市場で著名な企業には、液体マスフローコントローラとガスマスフローコントローラの両方を提供する、老舗で財務的に安定したマスフローコントローラメーカー、例えばHORIBA, Ltd. (日本)、Sensirion AG, Inc. (日本）、Sensirion AG（スイス）、Teledyne Technologies Incorporated（アメリカ）、Bronkhorst（オランダ）、Brooks Instrument（アメリカ）などです。これらの企業は数年前からこの市場で事業を展開しており、多様な製品ポートフォリオと強力なグローバル販売・マーケティングネットワークを持っています。老舗企業とともに、ICES Solutions社（インド）やMeditech Automation社（インド）など、マスフローコントローラーの販売代理店も多数存在します。
技術別では、コリオリ式マスフローコントローラが予測期間中に最も高い成長が見込まれています。
コリオリ式マスフローコントローラは、質量流量を測定する際の精度と精度が向上します。製薬、化学、食品・飲料などの業界では、この精度が重要な測定に利用されています。コリオリ式マスフローコントローラは汎用性が高く、気体と液体の両方を扱うことができます。熱式や差圧式のマスフローコントローラは、粘度、温度、圧力などの流体特性の変化に非常に敏感ですが、コリオリ式マスフローコントローラは、再校正や補正を必要とせず、流体条件が変化しても精度を維持します。
エンドユーザー別では、予測期間中、半導体セグメントが最大の市場シェアを占める見込みです。
半導体セグメントは予測期間中、最も高い複合年間成長率（CAGR）が見込まれています。マスフローコントローラ市場において半導体産業が重要な地位を占めている背景には、いくつかの要因があります。半導体の生産には非常に高いレベルの精度と再現性が要求され、そのためには必要な製品品質を維持するためにガス流を厳密に制御する必要があります。ガス・マス・フロー・コントローラは、エッチング、蒸着、洗浄プロセスなど、高純度が要求されるプロセスのガス調整において重要な役割を果たしています。
マスフローコントローラの地域別市場
2029年、アジア太平洋地域がマスフローコントローラの世界市場で最も高いCAGRを示すと予測。
半導体産業における技術革新と開発が、アジア太平洋地域のマスフローコントローラ市場の成長を大きく牽引。中国やインドなどの発展途上国における新しい半導体生産施設を含む半導体産業の成長は、アジア太平洋地域におけるマスフローコントローラ市場の成長をさらに促進します。
トップ企業マスフローコントローラ-主要市場プレイヤー
HORIBA, Ltd. (Japan),
Sensirion AG (Switzerland),
MKS Instruments (US),
Teledyne Technologies Incorporated (US),
Bronkhorst (Netherlands),
Brooks Instrument. (US),
Christian Bürkert GmbH & Co. KG (Germany),
Sierra Instruments, Inc. (US),
Alicat Scientific, Inc. (US),
PASKER HANNIFIN CORP (US),
TOKYO KEISO CO., LTD. (Japan),
Vögtlin Instruments GmbH (Switzerland),
Azbil Corporation (China),
Axetris AG (Switzerland).,
Aalborg (US)などがマスフローコントローラーメーカーとして挙げられます。
製品仕様別
製品紹介
ディスプレイ
ディスプレイ付きMFC
ディスプレイなしMFC
シール
金属シール付きMFC
エラストマーシール付きMFC
精度
標準精度
高精度
材料種類別
材料紹介
ステンレス
合金
その他
メディア種類別
ガスマスフローコントローラー
ガスマスフローコントローラ
液体マスフローコントローラ
流量別
導入
小流量（25SLM以下）マスフローコントローラ
中流量（>25 SLM – ≤1000 SLM）マスフローコントローラ
高流量（>1000 SLM）マスフローコントローラー
技術別
はじめに
熱式マスフローコントローラー
差圧式マスフローコントローラー
コリオリ式マスフローコントローラ
接続性別
接続
アナログ
デジタル
プロフィバス
RS-485
ProfiNet
EtherCAT
イーサネットIP
Modbus RTU
Modbus TCP/IP
DeviceNet
ファウンデーション・フィールドバス
エンドユーザー産業別
はじめに
半導体
ウェハークリーニング
薄膜蒸着
スプレーコーティング
プラズマエッチング
真空スパッタリング
オイル＆ガス
バイオガスの脱臭
重油添加剤投与
分解
化学薬品
触媒研究
液化ガス供給
医薬品
錠剤コーティング
連続製造
金属・鉱業
選択的レーザー溶解
製錬
水処理と廃水処理
pHコントロール
食品と飲料
エアレーション
無菌包装
その他
ラムダプローブ検査
地域別
地域別
北米
北米のマクロ経済見通し
アメリカ
カナダ
メキシコ
ヨーロッパ
ヨーロッパのマクロ経済見通し
英国
ドイツ
フランス
その他のヨーロッパ
アジア太平洋
アジア太平洋地域のマクロ経済見通し
中国
日本
韓国
インド
台湾
その他のアジア太平洋地域
白ロシア
RoWのマクロ経済見通し
中東
アフリカ
南米
最近の動向
2025年1月、堀場製作所は14日、フルスケール流量を従来比7倍に高めた超薄型マスフローコントローラ「DZ-107」を発売。先端半導体製造向けに設計し、最高使用温度を45℃から60℃に向上。
2024年4月、ブロンコスト社は製品ラインアップを拡充し、 ガス流量計測と制御における汎用性と精度を向上させました。FLEXI-FLOW Compactレンジの最新モデルは、低流量用に設計された機器を含む革新的なアップデートが特徴です。
2024年3月、Brooks Instrumentは高温用サーマルマスフローコントローラGF120xHTシリーズを発表しました。この新しいコントローラは、半導体製造に不可欠な固体および液体のプレカーサを扱うように調整されています。
2024年2月、Alicat Scientific, Inc.は、経済的なMEMSサーマルマスフローコントローラとメーターのBASIS 2シリーズに高流量レンジを導入し、製品ファミリーの幅を広げました。
2024年1月、ブロンコスト社はD-6300の後継機種としてMASS-STREAM D-6400シリーズを発表しました。この新シリーズは先進機能とISO-1179-1インレットネジを搭載し、標準コネクタとの互換性を可能にしました。
2023年9月、Brooks Instrumentは、液体および気体の極低流量で高精度を実現するように設計されたQuantim QMCコリオリマスフローコントローラの新シリーズをリリースしました。
【目次】
はじめに
23
研究方法論
28
要旨
38
プレミアムインサイト
42
市場概要
47
5.1 はじめに
5.2 市場ダイナミクスの牽引役 – 太陽電池プロジェクトの開発重視の高まり – 半導体産業の拡大 – 水素燃料電池による再生可能エネルギーの生成 – 制約要因 – 校正に依存する可能性 – 宇宙ステーションへの応用 – 半導体製造業を後押しする政府主導の取り組み – 課題 – マスフローコントローラを他の機器に統合することに伴う複雑さ
5.3 顧客ビジネスに影響を与えるトレンド／混乱
5.4 価格分析 主要企業の平均販売価格動向（接続性別） マスフローコントローラの平均販売価格動向（2019～2023年） 指標価格動向（地域別
5.5 バリューチェーン分析
5.6 エコシステム分析
5.7 投資と資金調達のシナリオ
5.8 AI/ジェネレーティブAIがマスフローコントローラ市場に与える影響導入AI/ジェネレーティブAI固有のユースケース
5.9 技術分析 主要技術 – マイクロエレクトロメカニカルシステム – IoT 副次的技術 – 産業用イーサネット – デジタル信号処理 副次的技術 – ナノテクノロジー
5.10 特許分析
5.11 貿易分析 輸入データ（HSコード902610） 輸出データ（HSコード902610）
5.12 主要会議とイベント、2025-2026年
5.13 ケーススタディ分析 イルスがアリカットと協力してマスフローコントローラの調達に関連する課題に対処 堀場製作所は安定した一貫した流量を提供する z500 マスフローコントローラでノアを支援 アリカットは複数のベースの純正マスフローコントローラを低ガス流量を管理するダイナカルデバイスに統合するバルコを支援 ブルックスは醸造所の生産と効率を改善する slamf マスフローコントローラでラーを支援 デュラールはアリカットと提携してカスタムガス校正付きの耐腐食性フローコントローラを設計
5.14 規制の状況 規制機関、政府機関、およびその他の組織の規格
5.15 ポーターのファイブ・フォース分析 新規参入の脅威 代替品の脅威 買い手の交渉力 サプライヤーの交渉力 競争相手の強さ
5.16 主要ステークホルダーと購買基準 購買プロセスにおける主要ステークホルダー 購買基準
マスフローコントローラ市場、製品仕様別
82
6.1 導入
6.2 DISPLAYS WITH DISPLAYS-即時視覚モニタリングによる制御強化が市場を牽引 WITHOUT DISPLAYS-低製造コストによる需要喚起
6.3 SEALS METALS- 過酷な環境条件に耐える能力が需要を押し上げる ELASTOMER- 摩擦の低減とガス漏れの最小化が市場を牽引
6.4 ACCURACY STANDARD- HVACシステムと非重要実験室環境での採用が増加し、市場成長を促進 HIGH- 半導体製造での採用が増加し、需要を加速
マスフローコントローラー市場、材料別
88
7.1 導入
7.2 耐腐食性と耐硫化性に優れたステンレス鋼が市場を牽引
7.3 合金 クロムやモリブデンを含む合金へのニーズの高まりが需要を後押し
7.4 その他の材料
マスフローコントローラー市場、媒体タイプ別
92
8.1 導入
8.2 触媒研究への採用が増加するガスが需要を促進
8.3 高速かつ正確な測定信号を提供できる液体が需要を後押し
マスフローコントローラ市場：流量別
96
9.1 はじめに
9.2 低 半導体チップ製造におけるアプリケーションの増加が市場を牽引
9.3 中流域 流体・気体の混合・注入システムでの用途拡大が需要を促進
9.4 高 技術別マスフローコントローラ市場：ガス計測におけるアプリケーションの増加が需要を加速
マスフローコントローラ市場：技術別
103
10.1 導入
10.2 様々な熱特性を持つ多様なガスに対応する熱的能力が市場を牽引
10.3 半導体製造、化学処理、航空宇宙試験における差圧利用の増加が需要を後押し
10.4 温度や圧力の変動に対する追加補正を不要とするコリオリ式が需要を喚起
マスフローコントローラ市場、接続性別
108
11.1 導入
11.2 アナログによる費用対効果の高い制御システムへの需要の増加が需要を促進
11.3 デジタル 高度なマイクロプロセッサー技術の導入によるリアルタイム監視が需要を加速 プロフィバス rs-485 プロフィネット イーサーネット/IP モドバス rtu モドバス tcp/ip デバイセネット ファンデーション フィールドバス
マスフローコントローラ市場：最終用途産業別
115
12.1 導入
12.2 半導体 ウェハー洗浄と PCB 処理の用途拡大が需要を押し上げる ウェハー洗浄 薄膜蒸着 スプレーコーティング プラズマエッチング 真空スパッタリング
12.3 石油・ガス 上流生産とパイプライン検出のための採用増加でバイオガス重油添加剤 投与フラッキングの脱臭需要が急増
12.4 化学反応器やガスサンプリングでの用途拡大が触媒研究液化ガス注入市場を牽引
12.5 医薬品 換気装置の精度向上が錠剤コーティング連続製造市場を牽引
12.6 金属・鉱業 廃棄物とダウンタイムの削減が需要を喚起する選択的レーザー溶融製錬
12.7 水処理・廃水処理 世界人口の拡大と急速な工業化が ph 制御の需要を促進
12.8 食品・飲料分野 phレベルの調整と不活性ガスのブランケティング用途の拡大が需要を押し上げる 曝気無菌パッケージング
12.9 その他の最終用途産業 ラムダプローブ検査
…
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レポートコード：SE 5758