ALD装置市場は、2023年には39億米ドル規模になると推定され、予測期間中のCAGRは10.0%で、2028年には62億米ドルに達すると予測されています。3D NAND SSDの台数増加やムーア以上のデバイスの導入が進んでいることが、ALD装置の世界的な市場成長を促進する主な要因となっています。
市場動向
推進要因 3D NAND SSDの増加
3D NANDメモリやFinFETベーストランジスタデバイスのような進歩と相まって、電子デバイスの小型化の傾向が強まっているため、コンフォーマル薄膜の精密な成膜に対する需要が高まっています。そのため、ALDは、400℃前後の温度でも優れたコンフォーマル性を持つ材料の成膜を可能にするため、電子デバイスの小型化において重要な役割を果たしています。さらに、ALDは、これらの最先端技術の性能と効率を最適化するために不可欠な、高品質の薄膜を実現するための貴重な手段を提供します。従って、3D NAND SSDの増加は、ALD装置の市場成長を促進すると予想されます。
阻害要因 訓練された労働力の不足
民生用電子機器や自動車など、多くのエンドユーザー産業からの半導体デバイスに対する需要の増加は、市場プレーヤーにいくつかの機会をもたらしました。しかし、このような複雑なプロセスに対応できる熟練技術者が不足しているため、市場関係者はこうした機会を最大限に活用できていません。そのため、これらの複雑な作業を実行するための高度な熟練労働者の必要性は、ALD装置市場の成長を抑制する可能性のある大きな問題です。
機会： 太陽光発電システムへのニーズの高まり
太陽光発電は太陽電池に統合されます。太陽電池の需要の高まりは、太陽光発電の普及拡大に貢献し、ALD装置の市場成長を促進すると予想されます。また、ALD膜は太陽電池の表面パッシベーション層、バッファ層、窓層、吸収層、正孔/電子コンタクトとしても使用されており、ALD装置の市場成長をさらに促進する可能性があります。さらに、クリーンな水力発電や風力エネルギーが豊富な人口密度の低い地域とは対照的に、石炭発電に大きく依存している人口密度の高い地域では、太陽光発電を採用することによる健康面や環境面での利点が特に大きくなります。その結果、太陽光発電の需要急増に伴い、ALD装置の導入が増加しており、将来的にALD装置の市場成長が見込まれます。
課題 技術的課題の増加とプロセスの複雑化
半導体の製造には、極めてクリーンな環境と装置が求められます。わずかなホコリでも工程を中断させ、大きな経済的損失につながる可能性があります。製造上のミスで供給が遅れれば、さらに損失が拡大し、注文がキャンセルされることさえあります。半導体製造における一般的な問題には、材料、機械的強度、チップの問題があります。そのため、半導体製造における技術的な困難やプロセスの複雑化が、ALD装置の市場成長を阻害する可能性があります。
ALD装置市場の主要企業は、ASM International N.V.（オランダ）、東京エレクトロン株式会社（日本）、Applied Materials, Inc. (日本）、Applied Materials, Inc. (米国）、Veeco Instruments Inc. (米国)、LAM RESEARCH CORPORATION.
プラズマエンハンストALD（PEALD）装置が予測期間中にALD装置市場で最も高いCAGRを記録
PEALDは、従来のALD法の利点に加えて、成膜前後のin-situ処理機能などの補足的な利点も提供します。PEALDは主に、CMOS構造、MOSFET、キャパシタ、その他の半導体デバイスなどの半導体アプリケーションで利用されています。そのため、従来のALD成膜法に比べて明確な利点があります。これらの利点は、PEALDの市場成長に寄与する重要な要因です。
予測期間中、ALD装置市場で最大の市場規模を維持したのはムーア用途。
さまざまなロジックデバイスやメモリデバイスの普及が進んでいることが、よりムーアアプリケーション向けのALD装置市場を後押ししています。近年、3D NANDフラッシュメモリ技術に対する需要が大幅に増加しています。そのため、3D NANDフラッシュメモリ技術の採用が増加しており、市場の成長を牽引しています。
2022年のALD装置市場はアジア太平洋地域が最大シェア。
予測期間中、アジア太平洋地域がALD装置市場を支配する見込み。東京エレクトロン(株)、オプトランテック(株)（日本）などの半導体製造企業が存在するため。(日本）、OPTORUN Co. (日本)、昭和真空(日本)などの半導体製造企業が存在すること。(日本)、ムーア以上のデバイスの採用を増やすための政府主導の取り組みが、アジア太平洋地域の市場成長を促進する主な要因です。
主要企業
ALD装置メーカーの主なプレーヤーには、ASM International N.V.（オランダ）、東京エレクトロン株式会社（日本）、Applied Materials, Inc. (日本）、Applied Materials, Inc.（米国）、LAM RESEARCH CORPORATION. (米国）、Veeco Instruments Inc. これらの企業は、製品投入、契約、提携、買収、パートナーシップ、事業拡大など、有機的・無機的な成長戦略を駆使して市場での地位を強化しています。
この調査では、成膜方法、膜タイプ、用途（非半導体）、用途（半導体）、地域に基づいてALD装置市場を地域レベルおよび世界レベルで区分しています。
セグメント
サブセグメント
成膜方法別
プラズマエンハンストALD
熱ALD
空間ALD
ロール to ロールALD
粉末ALD
その他（高分子ALD、触媒ALD）
フィルムタイプ別
酸化膜
金属膜
硫化物膜
窒化膜
フッ化物膜
用途別（非半導体）
医療
エネルギー
光学
コーティング（部品、ポリマー、粉体）
用途別（半導体）
ムーア以上
MEMS＆センサー
RFデバイス
アドバンスト・パッケージング
パワーデバイス
フォトニクス（LEDおよびVCSEL）
CMOSイメージセンサ
研究開発施設
その他のムーア
地域別
北米
米国
カナダ
メキシコ
欧州
英国
ドイツ
フランス
その他のヨーロッパ
アジア太平洋
中国
日本
インド
韓国
その他のアジア太平洋地域
その他の地域
南米
中東・アフリカ
湾岸諸国（GCC）
その他の中東・アフリカ
2022年3月、ASM International N.V.は、ALD装置などの半導体製造装置向けにRFマッチングサブシステムを提供するReno Sub-Systems Inc.を買収しました。この買収により、ASM International N.V.の製品ポートフォリオが強化されました。
2023年3月、東京エレクトロン株式会社は、山梨県韮崎市の保坂事業所に新たな開発拠点を開設することを発表しました。この拡張は、半導体の多様化・複雑化に伴う技術革新に対応するものです。 このため、同社は半導体業界からの需要増に対応するため、新たな設備開発にも積極的に投資しています。
アプライド マテリアルズは2022年6月、フィンランドを拠点とするALDのグローバルリーダーであるPicosun Oyの買収を発表しました。この買収により、アプライド マテリアルズはPicosunの能力を活用し、自動車、IoT、通信、センサー、電力市場向けに革新的なソリューションを提供できるようになります。この買収により、アプライド マテリアルズのスペシャルティチップ関連の製品ポートフォリオが拡大します。
2022年9月、ラムリサーチ株式会社はインドのベンガルールにエンジニアリングセンターを設立し、DRAM、NAND、ロジック技術の製造工程で使用されるウエハー製造ハードウェアおよびソフトウェアの研究開発、エンジニアリング、テストに注力することを発表しました。このため、同社は近年、半導体市場の需要増に対応するため、新たな製造・研究施設の建設も進めています。
2022年10月、Veeco Instruments Inc.は、ユストゥス・リービッヒ大学ギーセン（ドイツ）との提携を発表。
【目次】
1 はじめに （ページ – 31）
1.1 調査目的
1.2 市場の定義
1.3 調査範囲
1.3.1 対象市場
図1 ALD機器市場：セグメンテーション
1.3.2 地域範囲
1.3.3 含有と除外：企業別
1.3.4 含有・除外項目：フィルムタイプ別
1.3.5 成膜方法別の介在物と除外物
1.3.6 含有物・排除物：ウェーハサイズ別
1.3.7 含有物・排除物：用途別（非半導体）
1.3.8 含有物・排除物：用途別（半導体）
1.3.9 含有物・排除物：地域別
1.3.10 考慮した年数
1.4 通貨
1.5 考慮される単位
1.6 制限事項
1.7 利害関係者
1.8 変化のまとめ
1.8.1 景気後退の影響
2 調査方法 （ページ – 37）
2.1 調査データ
図 2 ALD機器市場：調査デザイン
2.1.1 二次データ
2.1.1.1 主要な二次情報源のリスト
2.1.1.2 二次ソースからの主要データ
2.1.2 一次データ
2.1.2.1 専門家への一次インタビュー
2.1.2.2 主要な一次インタビュー参加者のリスト
2.1.2.3 プライマリーの内訳
2.1.2.4 一次資料からの主要データ
2.1.3 二次調査および一次調査
2.1.3.1 主要業界インサイト
2.2 市場規模の推定
2.2.1 ボトムアップアプローチ
2.2.1.1 ボトムアップ分析（需要側）による市場規模推定のアプローチ
図3 ボトムアップアプローチ
2.2.2 トップダウンアプローチ
2.2.2.1 トップダウン分析による市場規模推計アプローチ
図4 トップダウンアプローチ
2.3 要因分析
2.3.1 サプライサイド分析
図5 市場規模推定手法：サプライサイド分析（アプローチ1）
図6 市場規模推計手法：サプライサイド分析（アプローチ2）
2.3.2 成長予測の前提
表1 市場成長の前提
2.4 景気後退の影響を分析するために考慮したパラメータ
2.5 市場の内訳とデータの三角測量
図7 データ三角測量
2.6 リサーチの前提
2.7 リスク評価
表2 ALD機器市場：リスク評価
3 経済サマリー（ページ数 – 50）
図 8 ALD装置市場：グローバルスナップショット
図 9 プラズマを利用した ALD が予測期間中に最も高い CAGR を記録
図 10 2028 年には酸化膜が ALD 装置市場の最大シェアを占める見込み
図 11 ALD装置市場で予測期間中に最も高いCAGRを記録するのはより多くのムーア用途
図 12：ALD 機器市場では予測期間中、医療用途が最も高い CAGR を示す
図 13：予測期間中、アジア太平洋地域の ALD 機器市場が最も高い CAGR を記録
4 PREMIUM INSIGHTS (ページ – 54)
4.1 ALD装置市場におけるプレーヤーにとっての魅力的な機会
図 14 絶えず拡大する半導体産業が市場成長に大きく貢献
4.2 ALD装置市場、成膜方法別
図15 プラズマエンハンスド成膜が2028年の成膜装置市場を支配
4.3 ALD装置市場：膜タイプ別
図16：予測期間中、酸化膜がALD装置市場で最大シェアを占める
4.4 ALD装置市場：用途別（半導体）
図17 2028年にはより多くのムーア用途がALD装置市場をリード
4.5 ALD装置市場：アプリケーション別（非半導体）
図 18 2028 年にはエネルギー用途が ALD 装置市場で最大シェアを占める
4.6 アジア太平洋地域のALD装置市場：用途別、国別
図 19 2022 年の ALD 装置市場、用途別・国別シェアは半導体用途と中国が最大
5 市場概観（ページ数 – 58）
5.1 はじめに
5.2 市場ダイナミクス
図 20 ALD装置市場：促進要因、阻害要因、機会、課題
5.2.1 推進要因
5.2.1.1 半導体産業の急拡大
図21 世界の半導体市場規模、2021～2024年（10億米ドル）
5.2.1.2 3D NAND SSDの需要増加
5.2.1.3 ALD装置が提供する複数のメリット
表3 ALDとCVDの比較
5.2.1.4 AIベースのサーバーからのメモリデバイスの需要増加
図22 ALD装置市場への促進要因の影響分析
5.2.2 阻害要因
5.2.2.1 ALD装置に関連する高コスト
5.2.2.2 熟練労働者の不足
図23 ALD装置市場における阻害要因の影響分析
5.2.3 機会
5.2.3.1 モアモア装置の採用増加
5.2.3.2 医療分野におけるAIとIoTの統合の拡大
5.2.3.3 太陽光発電の需要急増
図24 再生可能エネルギーの年間発電能力（技術別）、2019～2022年
図25 ALD機器市場における機会の影響分析
5.2.4 課題
5.2.4.1 半導体製造に関わる技術的困難とプロセスの複雑化
図26 ALD装置市場における課題の影響分析
5.3 サプライチェーン分析
図27 ALD装置市場：サプライチェーン分析
5.4 エコシステムのマッピング
図28 エコシステム分析
表4 ALD機器市場：サプライチェーン分析
5.5 顧客ビジネスに影響を与えるトレンド／混乱
図29 顧客ビジネスに影響を与えるトレンド／破壊的要因
5.6 技術分析
5.6.1 液体アルド（L-ALD）
5.6.2 アルドプロセスの進歩
5.6.3 ald装置におけるaiとmlの統合
5.7 価格分析
表5 ALD装置の平均販売価格
5.7.1 溶射装置の用途別平均販売価格動向
図30 ALD装置のアプリケーション別平均販売価格動向
5.7.2 ALD装置の地域別平均販売価格動向
図31 ALD装置の大量生産における地域別平均販売価格動向
5.8 特許分析
表6 2012年1月から2022年12月までに出願された特許数
図 32 2012-2022 年に取得された ALD 装置関連の特許数
図 33 2012-2022 年に特許取得件数の多い上位 10 社
図34 特許所有者上位20社、2012～2022年
表7 ALD装置関連の主要特許
5.9 ポーターの5つの力分析
図 35 溶射装置市場：ポーターの5つの力分析
図 36 ALD機器市場：ポーターの5つの力分析（2022年
表8 磁気共鳴装置市場：ポーターの5つの力分析、2022年
5.9.1 新規参入の脅威
5.9.2 代替品の脅威
5.9.3 供給者の交渉力
5.9.4 買い手の交渉力
5.9.5 競合の激しさ
5.10 主要ステークホルダーと購買基準
5.10.1 購入プロセスにおける主要ステークホルダー
図 37 上位 2 つのアプリケーションの購買プロセスにおける関係者の影響力
表9 上位2つのアプリケーションの購入プロセスにおける関係者の影響度(%)
5.10.2 購入基準
図 38 上位 2 つのアプリケーションの主な購入基準
表 10 上位 2 つのアプリケーションの主な購入基準
5.11 ケーススタディ分析
5.11.1 ALDアプリケーションで顧客を支援したTLXテクノロジーズの三方パイロットバルブ
5.11.2 ピコサン（応用材料）がパワーエレクトロニクス用途に スミクロエレクトロニクスの 300mm ald 技術を採用
5.11.3 ベネックのアルド装置が日本の宝石・コイン小売業者の再コーティングコストを大幅に削減
5.12 貿易分析
表11 半導体デバイスまたは電子集積回路製造用機械・装置の主要国輸入額（2018～2022年）（10億米ドル
図39 主要国の半導体デバイスまたは電子集積回路製造用機械・装置の輸入額（2018-2022年
表12 主要国の半導体デバイスまたは電子集積回路製造用機械・装置の輸出額（2018-2022年）（10億米ドル
図40 半導体デバイスまたは電子集積回路製造用機械・装置の主要国輸出額（2018-2022年
5.13 規制の状況
5.13.1 世界的な規格と規制機関
5.13.2 政府規制
5.13.2.1 アジア太平洋
5.13.2.2 北米
5.13.2.3 欧州
5.14 主要会議・イベント（2023～2024年
表13 ALD装置市場：会議・イベント一覧
6 ALD装置市場：WAFERサイズ別（ページ番号-86）
6.1 導入
6.2 150mmまで
6.3 200 mm
6.4 300 mm
7 ALD装置市場: 成膜方法別 (ページ – 87)
7.1 導入
表14 ALD装置市場、2019年～2022年（単位：千台）
表15 ALD装置市場、2023～2028年（単位：千台）
表16 ALD装置市場、成膜方法別、2019年～2022年（百万米ドル）
図 41 プラズマを利用した ALD が予測期間中に最も高い CAGR を記録
表17 ALD装置市場、成膜方法別、2023～2028年（百万米ドル）
7.2 プラズマエンハンスド
7.2.1 低温でのシーケンシャル蒸着への展開がこの分野を牽引
表 18 プラズマエンハンスド：成膜装置市場、用途別、2019～2022 年（百万米ドル）
図42 2028年に最大の市場シェアを占めるのは半導体用途
表 19 プラズマエンハンスド：アルド装置市場、用途別、2023～2028 年（百万米ドル）
7.3 サーマル
7.3.1 基板への金属膜成膜ニーズの高まりが同分野の成長を促進
表 20 熱：アルド装置市場、用途別、2019～2022 年（百万米ドル）
表21 熱：ALD装置市場、用途別、2023～2028年（百万米ドル）
7.4 空間
7.4.1 薄膜を常圧で成膜できることがこの分野の成長を促進
表22 空間：ALD装置市場、用途別、2019～2022年（百万米ドル）
表23 空間：ALD装置市場、用途別、2023～2028年（百万米ドル）
7.5 ロール・ツー・ロール
7.5.1 ポリマー基材へのバリアコーティングにコスト効率の高いALDソリューションの採用が増加し、同分野の成長を後押し
表 24 ロール・ツー・ロール：アルド装置市場、用途別、2019～2022 年（百万米ドル）
表25 ロール・ツー・ロール：ALD装置市場、用途別、2023～2028年（百万米ドル）
7.6 パウダー
7.6.1 半導体部品の長寿命化への関心の高まりがセグメント成長を促進
表26 粉末：ALD装置市場、用途別、2019～2022年（百万米ドル）
表27 粉末：ALD装置市場、用途別、2023-2028年（百万米ドル）
7.7 その他
表28 その他：ALD装置市場：用途別、2019-2022年（百万米ドル）
表29 その他：ALD装置市場：用途別、2023-2028年（百万米ドル）
…
【本レポートのお問い合わせ先】
www.marketreport.jp/contact
レポートコード：SE 8145